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最近在是做一個(gè)程序(系統(tǒng)畫(huà)面圖如上),是鍍膜機(jī)。先說(shuō)下正常動(dòng)作流程:(該系統(tǒng)有二組抽氣系統(tǒng)A1組,A2組)
1:按下畫(huà)面《自動(dòng)抽氣》按鍵(系統(tǒng)自動(dòng)抽氣啟動(dòng));
2:系統(tǒng)自動(dòng)抽氣啟動(dòng)A1組A2組的(1# -3#)粗抽泵順序打開(kāi),同時(shí)A1組的VA1,V1A1(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥及A2組的VA2,V1A2(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥也打開(kāi),系統(tǒng)進(jìn)行粗抽;
3:當(dāng)真空到達(dá)6.0X10^2Torr時(shí)打開(kāi)A1組羅茨泵A1關(guān)閉A1組VA1閥及打開(kāi)A2組羅茨泵A2關(guān)閉A2組VA2閥;
4:當(dāng)真空度到達(dá)3.0X10^0Torr時(shí)A1組的V1A1(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥關(guān)閉,1秒后V2A1(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥打開(kāi);同時(shí)A2組的V1A2(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥也關(guān)閉,1秒后V2A2(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥打開(kāi);
5:當(dāng)A1組的V2A1(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))打開(kāi)5秒后其V3A1(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))閥也打開(kāi),同時(shí)當(dāng)A2組的V2A2(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))打開(kāi)5秒后其V3A2(有檢測(cè)開(kāi)關(guān))也打開(kāi),系統(tǒng)進(jìn)行細(xì)抽;
6:當(dāng)真空度到達(dá)6.0X10^ -2Torr時(shí)進(jìn)行鍍膜
7:鍍膜完成后按下《關(guān)閥放氣》按鍵系統(tǒng)自動(dòng)順序關(guān)閉A1(A2)組的V3A1(V3A2)閥,V2A1(V2A2)閥,A1(A2)羅茨泵,A1組1# -3#(A2組1# -3#),完成整個(gè)過(guò)程;
現(xiàn)要求在自動(dòng)抽氣啟動(dòng)后無(wú)論處于1-5步序中任一個(gè)步序時(shí)停止自動(dòng)抽氣,其當(dāng)前狀態(tài)保持不變(即使轉(zhuǎn)到下一步條件達(dá)成),此時(shí)可用手動(dòng)操作各個(gè)閥及泵,手動(dòng)操作完畢后按下《自動(dòng)抽氣》按鍵系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)入自動(dòng)抽氣流程。
如當(dāng)前系統(tǒng)自動(dòng)抽氣進(jìn)行到第4步序時(shí)停止自動(dòng)抽氣,將A2組的狀態(tài)用手動(dòng)操作使其處于第3或第2步序的狀態(tài),然后再按下《自動(dòng)抽氣》按鍵使A2組由第3或第2步序運(yùn)行到第4步序聯(lián)同A1組再進(jìn)入下一步序。
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